تصميم وتوصيف( MEMS) مقياس التسارع
 التاريخ :  5/8/2022 7:04:44 AM  , تصنيف الخبـر  كلية الهندسة
Share |

 كتـب بواسطـة  اعلام كلية الهندسة  
 عدد المشاهدات  37


تصميم وتوصيف( MEMS) مقياس التسارع
 
تم مناقشة الرسالة المقدمة الى كلية الهندسة في جامعة بابل كجزء من متطلبات نيل درجة الماجستير في الهندسة / الهندسة الكهربائية  / الكترونيك صناعي من قبل ادريس احمد مريعي سلمان النصاري  و حملت العنوان الموسوم  : 
تصميم وتوصيف( MEMS) مقياس التسارع
MEMS accelerometer, design and characterization
وتألفت لجنة المناقشة كل من :
أ. د .حسن جاسم مطلك – كلية الهندسة – جامعة بابل – رئيسا , أ. د.  قيس كريم عمران – كلية الهندسة – جامعة بابل – عضوا , أ . م . د . حميد رسول فرحان – كلية الهندسة – جامعة كربلاء  – عضوا , أ . م . د . حيدر صاحب منجي- كلية الهندسة – جامعة بابل – عضوا ومشرفا.

جاء بالرسالة :
 تم تصميم ومحاكاة وتمييزثلاث مقاييس التسارع السعوية مبتكرة . النموذج أحادي البعد يبلغ طوله وعرضـه وسـمكه 620  ميكرومتر و 558 ميكرومتر و 30  ميكرومـتر عــلى الـتـوالي. الجهاز لديه نسـبة تخميـد سـريعة 0.265 ، تـردد طبيعــي غير مـخـمد 42578.4 دوره \ ثانية ، وزمن الوصول 0.05 مللي ثانية. الجهاز لديه تردد رنين مقبول 6500 هرتز وعرض نطاق من 3-  ديسيبل  1200 هرتز. الجهاز بدقة  0.05 g. تـم قيـاس حسـاسـية جهد الخرج بتيار المستمر للـنمـوذج احـادي الـبعـد لتـكون 0.607  فولت \g أقصى تسارع تم قياسه قبل انهيار الجهاز كان  .g 112 يبلغ طول النموذج ثنائي الأبعاد وعرضه وسمكه 1200 ميكرومتر و 1000 ميكرومتر و 30 ميكرومتر على التوالي. الجهاز لديه معدل التخميد السريع 0.2251 ، التردد الطبيعي الغير مـخـمد 42980.32 دوره / ثانية ، وزمـن الوصـول 0.05 مللي ثانية. الـجهتاز لديه تردد رنين مقبول 6500 هرتز وعرض النطاق الترددي عند 3-  ديسيبل 1200 هرتز. دقة الجهاز 0.05  لكل محور وأقصى تسارع تم قياسه قبل انهيار الجهاز كان 96 g  تم قياس حساسية جهد الخرج للتيار المستمر لمقاييس التسارع ثنائية الأبعاد لتكون 1.45 فولت\g. يبلغ طول النموذج ثلاثي الأبعاد وعرضه وسمكه 1200 ميكرومتر و 1000 ميكرومتر و 30 ميكرومتر على التوالي . الجهاز لديه نسبة التخميد سريعة 0.2251 ، التردد الطـبيـعي غـير المخمد 42980.32  دوره\ ثانية ، وزمـن الـوصول 0.05 مللي ثانية للمحـوريـن x وy. نسـبة التخميد 0.2 ، التردد الطبيعي غيـر المـخمد 48073.4 دوره\ ثانـيـة ، وزمن الوصول 0.035 مللي ثانية للمحور z . للجهاز تردد رنين مقبول 6500  هرتـز وعرض النطاق الترددي عند 3-  ديسيـبل 1200 هرتز للمحورين x وy ، وتردد الرنين 8000 هرتز وعرض النطـاق التـرددي عند 3-  ديسيبل 1000 هرتز للمحور z.  دقة الجهاز 0.05 g لكل المحاور وكان الحد الأقصى للتسارع الذي تم قياسه قبل انهيار الجهاز 96 g للمحورين x وy بينما كان 165 g للمحور z. تم قياس حساسية جهد الخرج المستمر لمقيـاس التسارع ثـلاثي الأبـعـاد لتـتـكون 1.45  فولـت \ g للمحورين x وy و  0.944 فولت \ g للمحور z.أظهر العمل كيفية تحسين الحساسية السعوية لمقياس التسارع من خلال تحسين أبعاد كتلة الإثبات واصابع الاستشعار للهيكل المصمم. ومع ذلك ، لاحظنا أن تحسـين الحسـاسية السـعوية بهـذه الطـريقـة مقيد بخطيـة مقيـاس التسـارع. تـم استـخدام COMSOL Multiphasics5.5 لمحاكاة تشغيل الجهاز.

   ///  وفاء هاشم الحسيني  ///